MOCVD. MOCVD-реакторы.

MOCVD для начинающих.
Metal Organic Chemical Vapor Phase Deposition - или MOCVD ( по русски металло органическая гидридная эпитаксия )- является очень сложным процессом, предназначенным для выращивания слоев кристалла. MOCVD используется в производстве светодиодов (LEDs), лазеры, транзисторы, солнечные элементы и другие электронные и оптикоэлектронные устройства, а также это ключ к выявлению новых применений в промышленности будущих рынков с высокая способность к росту.[szapisi]
В этой статье мы хотели бы предоставить основную информацию о том, как MOCVD работает. Данная статья не является официальной инструкцие для научных сотрудников. Она показывает на уровне обывателя принцип работы гидридной эпитаксии MOCVD.
MOCVD - Определение
MOCVD гидридная эпитаксия является методом осаждения тонких слоев атома на полупроводниковую подложку. Это является самым существенным производственный процесс для полупроводниковой смеси базируемой на Нитридно-Галиевой основе (GaN). Эти полупроводники - самый важный материал для производства
красных, синих, зеленого и белых светодиодов LEDs.

Технология MOCVD-реактора

Технология реакторов MOCVD основана на принципе горизонтального ламинарного течения.
Необходимые газы процесса поступают в камеру смещения через специальное газовое входное отверстие (сопло), расположенное в центре реакторного потолка. Насос извлекает газы от края камеры и вынуждают их распространяться радиально и равномерно от центра до края производственной камеры , оседающей на горячей
полупроводниковой подложке. Это заставляет химикаты разбиваться и реагировать.
Разбитые атомы оседают на поверхность подложки, атомный слой на
атомный слой и т.д.

Каждая отдельная подложка расположена на отдельной маленькой тарелке, которая вращается медленно во время процесса смещения, обеспечивая равномерное распределение материалов на каждую подложку. Свойства депонированного кристалла на уровне атомов могут меняться, изменяя введенные газы. Это позволяет производителям проектировать и производить слои полупроводника высшего качества (столь же тонкий как одна миллионная
из миллиметра), который может использоваться, для производства электронных или оптикоэлектронных устройств таких как светодиоды (LEDs), лазеры, солнечные элементы и т.д.

Что такое III-V Полупроводники?

MOCVD - процесс для производства сложных полупроводников
многослойной структуры, используемых в электронных
или оптикоэлектронных составляющих, такие как LEDs, лазеры,
быстродействующие транзисторы или солнечные элементы. В отличие от знаменитого Кремния (используемый для производства компьютерных чипов, например), эти полупроводники состоят из
не только из одного элемента, а из двух или больше. Они поэтому упоминаются как “составные полупроводники”.Они включают Арсенид Галлия (GaAs), Фосфид Индия (InP), Нитрид Галлия (GaN) и связанные с ними производные. Их также называют “полупроводники III-V группы” потому что они сделаны из элементов III и V группы из Периодической таблицы и взаимодействуя формируют кристаллические решетки.
Полупроводники соединения имеют несколько существенных преимуществ перед Кремниевыми полупроводниками. Поскольку электроны могут переместиться очень быстро в III-V элементах, как пример - высокие частоты в мобильных телефонах, для
пример. Кроме того, они могут также функционировать даже в очень высоких температурах. Наиболее важным является тот факт, что они эффективны при преобразовании света в электроэнергию и наоборот - все солнечные батареи используют это в принципах своей работы.