Новые бесконтактные пирометры LumaSense Technologies

Новый бесконтактный инструмент для измерения температуры выпустила компания LumaSense Technologies. Он будет применяться в светодиодной промышленности в технологическом процессе химического осаждения металлоорганических соединений из паровой фазы (MOCVD).
Пирометры UV 400 и UVR 400 позволят сделать процесс MOCVD более эффективным, и позволят снизить процент отходов при производстве светодиодов.
Данные приборы используют центральную длину волны ультрафиолетового спектра 400нм для измерения реальной температуры поверхности полупроводниковых пластин. Предшествующие модели пирометров позволяют лишь определять температуру токоприёмника/кармана подложки под пластиной. Новое качество сделает измерение более точным и позволит осуществлять повторяемое управление температурой, которое при производстве светодиодов очень критично по отношению к итоговой длине волны изделия и к производственному выходу.
Диапазон измеряемых температур составляет от 650°C до 1300°C, что позволит проводить контроль различных параметров, даже таких, как рост слоя буфера нитрида галлия и рост нескольких квантовых ям. Время отклика прибора составляет 8 мс. Пирометры UV 400 и UVR 400 гарантируют при точном подсчёте фотонов, достичь максимального соотношения сигнала/шума и уровня стабильности.
Пирометр UVR 400 имеет ещё и 635-нм лазерный рефлектометр, с помощью которого можно измерять толщину и рост слоя GaN в реальном времени при эпитаксиальном наращивании. Параметры новых приборов могут сочетаться с пирометром PhotriX.
Решения LumaSense Technologies предоставляют лучшие возможности измерения и управления температуры, а значит, способствуют повышению качества изготавливаемых светодиодов.